A kemény és törékeny anyagokhoz való precíziós lézervágó gépet főként nagy keménységű és nagyon rideg anyagok, például kerámia, zafír, gyémánt, kalcium-acél, volfrámacél, alumínium-nitrid, szilícium-nitrid, gallium-arzenid és egyéb anyagok lézeres mikromegmunkálására használják.